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使用激光退火設(shè)備具有那六大設(shè)備特點(diǎn)?

文章出處:公司動(dòng)態(tài) 責(zé)任編輯:東莞市創(chuàng)遠(yuǎn)激光科技有限公司 發(fā)表時(shí)間:2024-09-23
  ?①模塊化設(shè)計(jì)與集成:激光退火設(shè)備通常采用整機(jī)模塊化設(shè)計(jì)與集成,這種設(shè)計(jì)方式使得設(shè)備能夠兼容多種尺寸的薄片晶圓,如4、6、8英寸等。

②激光整形技術(shù):設(shè)備集成了自研的成熟好的激光整形技術(shù),確保光斑能量高度均勻且穩(wěn)定,從而提高退火處理的效果和一致性。
?激光退火設(shè)備
③優(yōu)異的退火效果:退火后,材料表面均勻、平整,表現(xiàn)出優(yōu)秀的電學(xué)特性及表面形貌特征。這對(duì)于提高材料的性能和穩(wěn)定性具有重要意義。

④?chē)?yán)格的含氧量控制:設(shè)備嚴(yán)格控制腔體含氧量,以有效控制表面碳析出量和分布,減少因含氧量過(guò)高而導(dǎo)致的材料性能下降問(wèn)題。

⑤監(jiān)控與補(bǔ)償系統(tǒng):配置有監(jiān)控與補(bǔ)償系統(tǒng),用于監(jiān)測(cè)光學(xué)能量穩(wěn)定性和非退火面溫度,確保退火過(guò)程的穩(wěn)定性和可控性。

⑥符合標(biāo)準(zhǔn)與通信支持:配備EFEM傳輸系統(tǒng),整機(jī)符合SEMI標(biāo)準(zhǔn),并支持SECS-GEM通信協(xié)議,便于與其他生產(chǎn)設(shè)備進(jìn)行集成和通信。


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